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基于LAPS的銅離子薄膜傳感器研究
全部作者： 胡衛軍 第1作者單位： Computer Science and Information Engineering College, Chongqing Technology and Business University 論文摘要： 采用Cu2+選擇電極的硫屬玻璃敏感材料，結合脈沖激光沉積技術與光尋址電位傳感器的特點,在光尋址電位傳感器表面上沉積了對Cu2+敏感的薄膜材料，研制了1種新型Cu2+選擇薄膜傳感器。該傳感器基底為n型單晶硅片，金屬接觸層為Cr/Au。通過實驗可以得出該傳感器的檢出下限為 1.15×10-7 mol/L，響應時間小于2 min,適用溶液pH范圍 4～7，具有測量快速靈活，所需樣品少，測量下限低等特點。此外，由于采用交流的光激發電流信號進行測量，所以相對于離子選擇電極其靈敏度得到了提高。實驗結果證明了該薄膜微型傳感器是測量金屬離子濃度1種新的有效器件。 關鍵詞： Cu2+敏感薄膜傳感器；光尋址電位傳感器；脈沖激光沉積 (瀏覽全文) 發表日期： 2007年11月22日 同行評議：
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